产业观察

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    AI时代中国半导体设备产业的历史转折点

    Zhaolong Wang | 2026-09-04

    AI算力需求的兴起已重新定义半导体设备行业的价值逻辑。当今,中国设备产业正在完成的,不是数量替代,而是进入全球工艺竞争体系的能力重构。

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设备材料

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中微公司首台等离子体晶圆切割设备成功交付

综合报道 | 2026-11-10

中微公司Primo Matrix® 采用在量产已得到充分验证的Primo TSV®的等离子体深硅刻蚀技术,集成双反应台刻蚀腔室及晶圆传输模块,兼具高产能、高精度、低成本和灵活的工艺适配能力。

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SEMI China每日要闻

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